INTEGRATED METROLOGY & ANALYSIS

측정을
이해하다.

3D 형상, Chip, 2D Metrology, Signal 분석을 하나의 흐름으로 연결합니다. 중앙의 실제 3D 샘플을 움직이며 각 분석 모듈의 역할을 확인해보세요.

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PRODUCT · APPLICATION FLOW

현장의 측정 데이터를 하나의 분석 흐름으로

반도체·정밀 표면 데이터를 열고, 필요한 분석을 수행한 뒤 엔지니어링 결과로 연결합니다.

01SEMICONDUCTOR · WAFER

Wafer / Chip Geometry

Chip별 형상 편차와 공정 분포를 정량 확인합니다.

PVWPGBOWROLL-OFF
02CMP · SURFACE PROCESS

CMP Dishing Analysis

국부 함몰 깊이와 폭을 Profile 기반으로 비교합니다.

HEIGHT ΔFWHMWIDTHNOISE σ
03PRECISION SURFACE

2D / 3D Metrology

표면 형상, Object, CD와 Height를 함께 검토합니다.

CDHEIGHTPROFILEROUGHNESS
04QC · R&D · PROCESS

Signal / Repeatability

반복 측정과 공정 변화 경향을 신호로 비교합니다.

AVGSTD3SIGMAFFT
01INPUT

Measurement Data

DATA · MAT · TIFF · CSV · TXT

→
02ANALYZE

IMAVIEW

ROI · Profile · Processing · Batch

→
03OUTPUT

Engineering Results

PV · WPG · BOW · CD · Height

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3D
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Chip/Wafer · 3D Metrology 데모 데이터셋

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QUICK FAQ
인터넷 없이 사용할 수 있나요?

오프라인 라이선스를 Import한 뒤 핵심 분석 기능을 로컬에서 사용할 수 있습니다.

원본 파일이 수정되나요?

분석 처리와 원본 파일 관리를 분리해 원본 데이터를 보호합니다.

지원 데이터 형식은 무엇인가요?

Chip/Wafer DATA, 3D, 이미지, CSV/TXT 신호와 BMP Stack을 지원합니다.

설치파일 경고가 표시됩니다.

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